在分析真空热处理工件增碳现象时有两种误解：①认为是工件在淬火油中增碳；②认为是加热室的石墨件造成增碳。由于实际工艺情况和材料的区别，很多情况下的“增碳”不是指这两个原因，而是加热室的清洁度不高，有大量淬火油在工件进出炉、料筐污染、送料小车进出带入热室，残留在热室冷壁上，加热时形成挥发性还原气氛，对工件增碳。
除了在1050℃高温以上的温度直接入油外，1050℃以下的加热工件油淬火时，稍做预冷再入油不会形成“明显”的增碳现象。
在加热室的石墨件等对工件的增碳情况也不能排除，但是完全没有残留淬火的气氛严重。
真空加热淬火的增碳现象更为严重的是来自淬火油污染炉膛的原因，不是人们所说的油中淬火或石墨件的原因。
在进行过油淬火处理之后，应将全部浸过油的料筐、运载部件（进出料小车）上的油全部清洗干净（用三氯乙烯、丙酮或其他清洗方式处理）。
