气相沉积是通过气相中发生的物理、化学过程，改变表面成分，在工件表面形成功能性（例如超硬耐磨层或具有特殊的光学、电学性能）或装饰性的化合物涂层的新技术。气相沉积通常是在工件表面覆盖厚为0.5~10um的一层过渡族元素（钛、钒、铬、锆、钨、钼、钽、铌及铪）与碳、氮、氧和硼的化合物。按过程的主要属性可将气相沉积分为化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）两大类。气相沉积是模具表面强化的新技术之一，已广泛应用于各类模具的表面硬化处理，主要应用的沉积层为TiC、TiN、Ti、（C，N）。
用CVD技术可以在各种工模具材料上沉积TiC、TiN、Ti、（C，N）薄膜。
