电火花加工表面残存着熔化凝固层和变质层，虽然有些加工表面可以直接地使用（冲模、锻模等），但有些加工表面（如塑料模、压铸造模等）仍需再进行抛光，使其达到镜面或准镜面的加工表面，才能满足加工表面粗糙度值的要求。
这个熔化凝固层变质层的硬度（HRC）>55以上，其厚度为加工表面粗糙度Rmax值的1~2倍。因此，要想对复杂的电火花加工表面进行再抛光是很困难的。虽然采用平动、摇动加工能得到良好的加工表面粗糙度。但要使加工表面Ra值达1μm以下，其放电加工速度是非常慢的，必须采取其他方法进行再抛光（即电火花加工表面的后继抛光）。
（1）手工抛光 采用纯手工抛光电火花加工表面是很困难的，必须先进行工件的表面退火，然后再用锉刀、刮刀、砂布、油石、砂纸、金相砂纸及研磨膏、研磨粉等进行手工抛光，此种办法抛光的时间长、要求技术含量高，需有一定的实践经验才能抛光加工表面达到质量要求。
（2）工具抛光 为了解除繁重的手工操作，很多手动、电动工具应运而生。
1）电解磨削抛光 是通过阳极溶解作用对金属进行电化学腐蚀抛光的。被抛光工件接电源正极，磨头接负极。二极间充满电解液并连接低压直流电源，为了防止两极接触短路，在磨头表面镀上一层金刚石磨料。在直流电和电解液的作用下，工件表面被深解并生成一层氧化膜，这层氧化膜不断地交替进行，就能抛光电火花加工表面。此方法是需预先制成不同形状的电镀金刚石磨头，仍不能完全离开手工操作。
2）手动、电动金刚石锉刀、金刚石研磨头抛光 其方便实用。另外还有电动软轴砂轮、电动回转沙轮人工进行研磨抛光。
（3）液体抛光 用挤压珩磨（磨料流动）进行液体抛光，用氧化铝、碳化硅等磨料与水混合后，通过液压驱动上下往复运动的活塞，将混有磨料的液体直接喷射到电火花加工表面，依靠磨料与工件表面的摩擦去除熔化凝固层和变质层。一般常用通孔的加工表面后继抛光。
（4）电解抛光 电解抛光是利用电化学溶解的原理进行表面抛光的一种加工方法。一般阴极由铅板制成，工件放在电解液槽中，分别接低压直流电源的负极和正极。当阴极伸入到工件的型腔时，应与型腔底面和侧面均匀保持5mm的电解间隙，电解液需加热，同时根据抛光的面积算出电流的大小，然后接通直流电源，调到给定的电流、电压进行电解抛光。抛光后应关闭电源将工件取出，在流动的热水、冷水中冲洗，干燥后涂上防锈油。对于一般塑料模、胶木模、压铸模等，电解抛光后可直接用于生产。但对于要求镜面效果的加工表面，电解抛光后仍需进行手工再次抛光处理。
（5）超声波抛光 声是一种利用介质进行传播的振动，频率在20kHz至100MHz范围的振动称为超声振动，它在介质中是以波的形式传播的。声能也是能量的一种形式，它主要由电能或机械能转换而来。因此，超声波发生器就是电能或机械能通过电声转换器件或流体动学方式转换成超声能，然后通过传输或变幅杆将超声振动传输或放大，以满足不同用途的需要。超声抛光就是利用超声技术作为电火花加工后表面处理的一种手段，去除熔化凝固层和变质层，使工件表面达到镜面的标准，特别适合招光窄缝、筋槽，抛光阻力小，精度高。
1）抛光原理 是利用换能器将输入的超声频电振荡转换成机械运动，然后将超声机械振动传送给变幅杆加以放大，再传至装在变幅杆端部的工具头上。使工具发生超声频的谐振动，当工具头与工件之间存在有适量的磨料是浮液，并使工具头以一定压力接触工件时，工具头高频率、高速度打击工件表面，同时悬浮液产生“空化”作用，从而使电火花加工表面引起“碎裂”和剥蚀，这样就实现了超声波抛光过程。
2）工艺效果 超声波抛光的工具头需选用不同材质和粒度的磨料制成（粗抛光时）或采用光滑的竹片（精抛光时）。为了适应不同形状的加工表面抛光要求，工具头设计成不同形状和尺寸。并且工具头和变幅杆的整体共振频率应与整个振动系统相一致。在工作时，加工区域注入适量的磨料、悬浮液或煤油、水等工作液，可将电火花加工的熔化凝固层和变质层完全去除掉、达到后继抛光的目的。
